Назорати автоматии ҳарорат ва намӣ
Ҳарорат ва намии ҳуҷраи тоза асосан аз рӯи талаботи раванд муайян карда мешавад, аммо дар ҳолати қонеъ кардани талаботи раванд, бояд бароҳатии инсон ба назар гирифта шавад.Бо афзоиши талабот ба тозагии ҳаво, тамоюли он вуҷуд дорад, ки раванд нисбат ба ҳарорат ва намӣ талаботи бештар ва сахттар дорад.
Азбаски дақиқии коркард торафт дақиқтар мешавад, талабот ба диапазони тағирёбии ҳарорат камтар ва хурдтар мешавад.Масалан, дар раванди экспозицияи литографияи истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ, фарқияти байни коэффисиенти васеъшавии гармии шиша ва пласти кремний ҳамчун маводи диафрагма талаб карда мешавад, ки хурдтар ва хурдтар бошад.Вафли кремний бо диаметри 100 мкм ҳангоми 1 дараҷа боло рафтани ҳарорат боиси тавсеаи хаттии 0,24 мкм мегардад.Аз ин рӯ, он бояд ҳарорати доимии ±0,1 дараҷа дошта бошад.Дар баробари ин, умуман паст будани арзиши намӣ талаб карда мешавад, зеро пас аз арақи одам маҳсулот ифлос мешавад, махсусан Барои цехҳои нимноқилӣ, ки аз натрий метарсанд, ин гуна цехи тоза набояд аз 25 дараҷа зиёд бошад.
Рутубати аз ҳад зиёд боиси мушкилоти бештар мегардад.Вақте ки намии нисбӣ аз 55% зиёд мешавад, дар девори қубури оби хунуккунӣ конденсатсия ба амал меояд.Агар он дар дастгоҳ ё схемаи дақиқ рух диҳад, он боиси садамаҳои гуногун мегардад.Вақте ки намии нисбӣ 50% аст, занг задан осон аст.Илова бар ин, вақте ки намӣ хеле баланд аст, ғубори рӯи пласти кремний аз ҷониби молекулаҳои оби ҳаво ба рӯи кимиёвӣ адсорб мешавад, ки тоза кардани он душвор аст.Ҳар қадаре ки намии нисбӣ баланд бошад, бартараф кардани часпак ҳамон қадар мушкилтар мешавад, аммо вақте ки намии нисбӣ аз 30% камтар аст, зарраҳо низ аз таъсири қувваи электростатикӣ ва миқдори зиёди нимноқилҳо ба осонӣ дар рӯи рӯи адсорбсия мешаванд. дастгоххо ба вайрон шудан майл доранд.Беҳтарин диапазони ҳарорат барои истеҳсоли вафли кремний 35 ~ 45% аст.
